QR-код құжаттың
539.2
М59
Миколайчук, А. Г.
Процессы старения и окисления полупроводниковых пленок: учеб. пособие для студентов. [Текст] : учебник / А.Г. Миколайчук, Д.М. Фреик, В.М. Шперун. - ЛЬВОВ : Вища школа, 1979. - 104 с : ил. - 15 тн.
| УДК | 539.2 |
Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ -- ПЛЕНКИ -- ХИМИЧЕСКИЙ -- СВОЙСТВА -- ОКИСЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Фреик, Д.М.
Шперун, В.М.
Свободных экз. нет