QR code of document
621.396
Д 69
Дорфман, В. Ф
Твердотельные интегральные структуры и их синтез : научное издание / В.Ф Дорфман. - М. : Знание, 1981. - 64 с. : ил. - (Новое в жизни, науке, технике). - 0.11 р.
| ГРНТИ | 19.65 |
| УДК | 621.396 |
Кл.слова (ненормированные):
гетеропереход -- легирование -- микропроцессор -- планарная -- технология -- скрайбирование -- топология -- самосовмещение
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)