База данных: Каталог IBIS
Page 1, Results: 4
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Г 16
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов вузов, магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника", а также аспирантам и инженерам / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. д.т.н., проф. С. П. Тимошенкова ; УМО вузов РФ по образованию в области радиоэлектроники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 3632.00 тг
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- диагностика -- травление -- методы -- модели -- технология
Доп.точки доступа:
Данилкин, Е.В.
Мочалов, А.И.
Тимошенкова, С.П. \ред.\
УМО вузов РФ по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Г 16
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов вузов, магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника", а также аспирантам и инженерам / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. д.т.н., проф. С. П. Тимошенкова ; УМО вузов РФ по образованию в области радиоэлектроники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 3632.00 тг
| ГРНТИ | ||
| УДК |
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- диагностика -- травление -- методы -- модели -- технология
Доп.точки доступа:
Данилкин, Е.В.
Мочалов, А.И.
Тимошенкова, С.П. \ред.\
УМО вузов РФ по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
2.
Подробнее
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2-х т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2011 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
Т. 2 : Технологические аспекты : для студентов, магистрантов и аспирантов вузов / М. В. Акуленок [и др.]. - М., 2011. - 252 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 4550.00 тг
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
формирование -- пленки -- структура -- эпитаксия -- нанорельеф -- диэлектрический -- травление
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\
Акуленок, М.В.
Андреев, В.М.
Громов, Д.Г.
Зиновьев, Д.В.
Мочалов, А.И.
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2-х т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2011 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
Т. 2 : Технологические аспекты : для студентов, магистрантов и аспирантов вузов / М. В. Акуленок [и др.]. - М., 2011. - 252 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 4550.00 тг
| ГРНТИ | ||
| УДК |
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
формирование -- пленки -- структура -- эпитаксия -- нанорельеф -- диэлектрический -- травление
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\
Акуленок, М.В.
Андреев, В.М.
Громов, Д.Г.
Зиновьев, Д.В.
Мочалов, А.И.
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
3.
Подробнее
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2-х т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники : для студентов, магистрантов и аспирантов изучающих технологию микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М., 2010. - 392 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 5434.00 тг
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
конденсация -- литография -- фаза -- газовая -- ионно-плазменная -- диффузия -- модифицирование
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\
Райнова, Ю.П.
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2-х т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники : для студентов, магистрантов и аспирантов изучающих технологию микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М., 2010. - 392 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 5434.00 тг
| ГРНТИ | ||
| УДК |
Рубрики: электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
конденсация -- литография -- фаза -- газовая -- ионно-плазменная -- диффузия -- модифицирование
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\
Райнова, Ю.П.
Экземпляры всего: 10
Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент гл.корпус (9)
4.
Подробнее
Б 22
Балбекова, Б. К.
Наноұнтақтарды тығыздаудың және алудың негізгі әдістері [Электронный ресурс] : оқу құралы 6М070900 «Металлургия», 6М071000 "Материалтану және жаңа материалдар технологиясы" мамандығының магистранттарына арналған / Б. К. Балбекова, Е. П. Набоко ; Қазақстан Республикасы білім және ғылым министрлігі, Қарағанды мемлекеттік техникалық университеті, "Нанотехнологиялар және металлургия" кафедрасы. - Қарағанды : ҚарМТУ, 2019. - 60 бет : ил. - (Рейтинг). - Печатная версия электронной публикации. - ISBN 978-601-315-701-6 : 704.00 тг
Рубрики: общее машиностроение--нанотехнологии
химия--нанохимия
электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
оспрей-процесі -- синтез -- қысым -- бүрку -- пісіру -- аморфизм -- дәнекерлеу -- ұнтақ
Доп.точки доступа:
Набоко, Е.П.
Қазақстан Республикасы білім және ғылым министрлігі
Әбілқас Сағынов атындағы Қарағанды техникалық университеті. Нанотехнологиялар және металлургия кафедрасы
Экземпляры всего: 20
Книгохранение (3), Абонемент гл.корпус (17)
Свободны: Книгохранение (3), Абонемент гл.корпус (17)
Б 22
Балбекова, Б. К.
Наноұнтақтарды тығыздаудың және алудың негізгі әдістері [Электронный ресурс] : оқу құралы 6М070900 «Металлургия», 6М071000 "Материалтану және жаңа материалдар технологиясы" мамандығының магистранттарына арналған / Б. К. Балбекова, Е. П. Набоко ; Қазақстан Республикасы білім және ғылым министрлігі, Қарағанды мемлекеттік техникалық университеті, "Нанотехнологиялар және металлургия" кафедрасы. - Қарағанды : ҚарМТУ, 2019. - 60 бет : ил. - (Рейтинг). - Печатная версия электронной публикации. - ISBN 978-601-315-701-6 : 704.00 тг
| ГРНТИ | |
| УДК |
Рубрики: общее машиностроение--нанотехнологии
химия--нанохимия
электротехника--нанотехнологии (микроэлектроника)
Кл.слова (ненормированные):
оспрей-процесі -- синтез -- қысым -- бүрку -- пісіру -- аморфизм -- дәнекерлеу -- ұнтақ
Доп.точки доступа:
Набоко, Е.П.
Қазақстан Республикасы білім және ғылым министрлігі
Әбілқас Сағынов атындағы Қарағанды техникалық университеті. Нанотехнологиялар және металлургия кафедрасы
Экземпляры всего: 20
Книгохранение (3), Абонемент гл.корпус (17)
Свободны: Книгохранение (3), Абонемент гл.корпус (17)
Page 1, Results: 4